Évaporateur dépôts couches minces “Méca 2000”
Bâti d’évaporation utilisant un canon à électrons de 5 kW à 8 creusets
Le pompage est réalisé par 2 pompes : une turbo moléculaire et une cryogénique
Le vide limite est dans la gamme des 1E-7 mbar au bout d’une journée
Les substrats peuvent être d’une dimension de 200 x 150 mm maximum à une distance 350 mm de la source. Le substrat peut être rapproché à 110 mm de la source mais ces dimensions seront moindre
Les épaisseurs de couche sont estimées par une balance à quartz
Options possibles :
- Un chauffage du porte substrat peut atteindre 400°C maximum
- Un circuit d’azote liquide peut refroidir ce même porte substrat
- La température du substrat est contrôlée par une sonde thermocouple durant l’évaporation
- Une injection de gaz (argon) est réalisable
- Un bras supportant un masque face au substrat peut se translater de 25 mm pour réaliser des marches ou autres
- Un canon à ions à large angle solide est en cours de caractérisation
Matériaux déjà réalisés en couche : tungstène, aluminium, titane, chrome, argent, or, silice
Évaporateur Méca 2000